一種電子級(jí)超純二氧化碳的生產(chǎn)方法及其產(chǎn)品
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811526828.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN109336113A | 公開(kāi)(公告)日 | 2019-02-15 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN109336113A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-02-15 |
分類(lèi)號(hào) | C01B32/50 | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
發(fā)明人 | 周大榮;俞健;陳志誠(chéng) | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 上海啟元?dú)怏w發(fā)展有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 上海申新律師事務(wù)所 | 代理人 | 上海啟元空分技術(shù)發(fā)展股份有限公司 |
地址 | 201800 上海市嘉定區(qū)和裕路150號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明屬于氣體生產(chǎn)領(lǐng)域,特別涉及一種電子級(jí)超純二氧化碳的生產(chǎn)方法,還涉及通過(guò)該生產(chǎn)方法制得的電子級(jí)超純二氧化碳產(chǎn)品。該生產(chǎn)方法由液體二氧化碳汽化、加熱、脫硫、催化轉(zhuǎn)化、吸附干燥、制冷、提純等操作單元組成,用于提純工業(yè)級(jí)或食品級(jí)二氧化碳至電子級(jí)超純二氧化碳。該電子級(jí)超純二氧化碳的生產(chǎn)方法適于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn),安全可靠;并且,依據(jù)該生產(chǎn)方法制得的電子級(jí)超純二氧化碳產(chǎn)品中CO2的純度高達(dá)99.9995%以上,因此,滿(mǎn)足精密電子工業(yè)等領(lǐng)域的苛刻標(biāo)準(zhǔn)與大規(guī)模需求??傊?,本發(fā)明所提供的電子級(jí)超純二氧化碳的生產(chǎn)方法及其產(chǎn)品可得到廣泛應(yīng)用,具有良好的市場(chǎng)前景。 |
