基于激光位移傳感器的微陣列蓋片二維檢測(cè)方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910890643.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110514122B | 公開（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110514122B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-02 |
| 分類號(hào) | G01B11/02(2006.01)I;G01B11/16(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陶勇;黃勇;張冠斌;宋馳騁;李旭東;李若然 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都博奧晶芯生物科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 管高峰 |
| 地址 | 611135四川省成都市溫江區(qū)永寧鎮(zhèn)八一路北段88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種基于激光位移傳感器的微陣列蓋片二維檢測(cè)方法及裝置，所述檢測(cè)方法包括如下步驟：S1，設(shè)置激光位移傳感器垂直于微陣列蓋片的正面；S2，將激光位移傳感器沿著微陣列蓋片的各個(gè)凸面的水平方向和豎直方向移動(dòng)，測(cè)得若干數(shù)據(jù)；S3，利用測(cè)得的若干數(shù)據(jù)計(jì)算每個(gè)凸面在水平方向和豎直方向的平均值和變異系數(shù)，基于計(jì)算得到的平均值和變異系數(shù)判斷微陣列蓋片是否彎曲變形。本發(fā)明通過采用激光位移傳感器，測(cè)量數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確、可靠，測(cè)量精度更高，避免了傳統(tǒng)辦法以最小距離代替整個(gè)凸面到工作臺(tái)的情況，更具實(shí)用性；并采用二維檢測(cè)方法，由此分析測(cè)量對(duì)象，使得測(cè)量結(jié)果更加具有說服力，真實(shí)反映出微陣列蓋片各個(gè)凸面是否發(fā)生彎曲變形。?? |
