一種分子泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010021459.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111237210A 公開（公告）日 2020-06-05
申請公布號 CN111237210A 申請公布日 2020-06-05
分類號 F04D19/04(2006.01)I 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 董欣;郁晉軍;劉敏強 申請（專利權）人 北京四海祥云流體科技有限公司
代理機構 北京天馳君泰律師事務所 代理人 北京四海祥云流體科技有限公司
地址 101111北京市通州區(qū)興光四街1號院7號樓1層01-135
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種分子泵及其牽引級；其中分子泵包括：底座；泵體，其設置在所述底座上，所述泵體與所述底座形成一個腔體；動力裝置，其設置在所述底座和泵體形成的腔體內；轉子，其連接至所述動力裝置，所述轉子包括渦輪級轉子和第一牽引級轉子，所述渦輪級轉子與所述第一牽引級轉子之間包括多個第一導流結構，所述多個第一導流結構定義連通所述第一牽引級轉子的內側氣道和外側氣道的多個通道并可以對氣體分子導流壓縮；以及牽引級定子，其包括外定子和內定子，所述第一牽引級轉子位于所述外定子和所述第一內定子之間，所述內定子與所述第一牽引級轉子相對的表面設置第一導流槽。本發(fā)明的分子泵提供更大的導流空間和更高的工作效率。??