一種分子泵
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010021459.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111237210A | 公開（公告）日 | 2020-06-05 |
| 申請公布號 | CN111237210A | 申請公布日 | 2020-06-05 |
| 分類號 | F04D19/04(2006.01)I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 董欣;郁晉軍;劉敏強(qiáng) | 申請（專利權(quán)）人 | 北京四海祥云流體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天馳君泰律師事務(wù)所 | 代理人 | 北京四海祥云流體科技有限公司 |
| 地址 | 101111北京市通州區(qū)興光四街1號院7號樓1層01-135 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種分子泵及其牽引級；其中分子泵包括：底座；泵體，其設(shè)置在所述底座上，所述泵體與所述底座形成一個(gè)腔體；動(dòng)力裝置，其設(shè)置在所述底座和泵體形成的腔體內(nèi)；轉(zhuǎn)子，其連接至所述動(dòng)力裝置，所述轉(zhuǎn)子包括渦輪級轉(zhuǎn)子和第一牽引級轉(zhuǎn)子，所述渦輪級轉(zhuǎn)子與所述第一牽引級轉(zhuǎn)子之間包括多個(gè)第一導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)第一導(dǎo)流結(jié)構(gòu)定義連通所述第一牽引級轉(zhuǎn)子的內(nèi)側(cè)氣道和外側(cè)氣道的多個(gè)通道并可以對氣體分子導(dǎo)流壓縮；以及牽引級定子，其包括外定子和內(nèi)定子，所述第一牽引級轉(zhuǎn)子位于所述外定子和所述第一內(nèi)定子之間，所述內(nèi)定子與所述第一牽引級轉(zhuǎn)子相對的表面設(shè)置第一導(dǎo)流槽。本發(fā)明的分子泵提供更大的導(dǎo)流空間和更高的工作效率。?? |
