一種分子泵的轉(zhuǎn)子

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510092140.0 申請日 -
公開（公告）號 CN104613008B 公開（公告）日 2017-10-24
申請公布號 CN104613008B 申請公布日 2017-10-24
分類號 F04D29/32(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 董欣;郁晉軍;朱秀明 申請（專利權(quán)）人 北京四海祥云流體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責任公司;北京四海祥云流體科技有限公司
地址 102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種分子泵的轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子的每層葉片之間不留間隙，并去除原分子泵轉(zhuǎn)子中的定片，直接將各層葉片層聯(lián)接；并通過調(diào)整不同層葉片的抽速與壓縮比，使所述轉(zhuǎn)子整體各層葉片的抽氣效能相互銜接。所述各層轉(zhuǎn)子葉片被設計成相鄰層葉片首尾相連的渦輪型結(jié)構(gòu)，并利用光滑連續(xù)的曲面連接所述各層轉(zhuǎn)子葉片。通過優(yōu)化轉(zhuǎn)子葉片的結(jié)構(gòu)，大幅降低加工轉(zhuǎn)子的難度，并降低了分子泵的損壞幾率。