一種提高硅溶膠顆粒球形度的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010052969.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111186840A 公開（公告）日 2020-05-22
申請公布號 CN111186840A 申請公布日 2020-05-22
分類號 C01B33/146 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 龐祥波;李春生;李帥帥 申請（專利權(quán)）人 山東百特新材料有限公司
代理機構(gòu) 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 李桂存
地址 276600 山東省臨沂市莒南縣莒南經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西六路東淮海二路南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種提高硅溶膠顆粒球形度的方法。具體包括以下步驟：將粒徑為10?150nm的硅溶膠經(jīng)酸性陽離子交換樹脂處理，然后將硅溶膠轉(zhuǎn)移至耐壓容器中加熱至一定溫度并保溫一段時間，即可獲得顆粒球形度得到提高的硅溶膠產(chǎn)品。與普通硅溶膠相比，采用本發(fā)明技術(shù)處理的硅溶膠的顆粒形貌呈圓球狀且表面圓滑，在電子產(chǎn)品的CMP拋光領(lǐng)域，球形度好的硅溶膠能夠減少精密電子器件表面拋光時產(chǎn)生劃痕的現(xiàn)象，提升電子器件表面的拋光質(zhì)量；在儀器校準(zhǔn)領(lǐng)域，常采用硅溶膠顆粒作為儀器校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)粒子，球形度好的硅溶膠顆粒能夠提高儀器校準(zhǔn)的準(zhǔn)確度。