一種壓電晶體稱重長晶裝置及工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110114721.5 申請日 -
公開(公告)號 CN112430844B 公開(公告)日 2021-04-30
申請公布號 CN112430844B 申請公布日 2021-04-30
分類號 C30B15/28 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張偉明;周偉;徐秋峰;洪宇峰;袁超;沈浩;汪萬盾 申請(專利權(quán))人 天通控股股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 314412 浙江省嘉興市海寧市鹽官郭店建設路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種壓電晶體稱重長晶裝置及工作方法,該裝置包括設置在長晶爐上的平衡杠桿(3),平衡杠桿(3)的下部設有支點(12);支點(12)左側(cè)的平衡杠桿(3)的下方裝有旋轉(zhuǎn)電機(2),旋轉(zhuǎn)電機(2)的下部與籽晶桿(13)相連,籽晶桿(13)的下端為籽晶(14);支點(12)右側(cè)的平衡杠桿(3)的上方裝有直線導軌(11),直線導軌(11)上裝有滑塊(10),滑塊(10)上可放置配重塊(9);支點(12)右側(cè)的平衡杠桿(3)的上方還裝有位于直線導軌(11)左側(cè)的電機(5),電機(5)通過聯(lián)軸器(6)與絲桿(7)相連,絲桿(7)通過絲桿螺母(8)連接并與滑塊(10)固定。