一種載板回轉(zhuǎn)移動(dòng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210181167.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114420614A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN114420614A 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類(lèi)號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠;代和松 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江西漢可泛半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌賢達(dá)專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張雪娟
地址 332020江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種載板回轉(zhuǎn)移動(dòng)裝置，涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括基座、移動(dòng)框架、回轉(zhuǎn)框架和載板，移動(dòng)框架沿水平方向左右滑動(dòng)設(shè)置在基座上，移動(dòng)框架上設(shè)置有回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)齒輪、從動(dòng)內(nèi)齒輪及旋轉(zhuǎn)電機(jī)，回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)齒輪與從動(dòng)內(nèi)齒輪嚙合而能帶動(dòng)從動(dòng)內(nèi)齒輪沿水平方向旋轉(zhuǎn)，回轉(zhuǎn)框架設(shè)置在從動(dòng)內(nèi)齒輪上而能隨從動(dòng)內(nèi)齒輪同步旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)框架上設(shè)置有夾緊裝置以對(duì)回轉(zhuǎn)框架進(jìn)行夾緊，限制回轉(zhuǎn)框架旋轉(zhuǎn)，回轉(zhuǎn)框架上設(shè)置有導(dǎo)軌，載板沿水平方向前后滑動(dòng)設(shè)置在導(dǎo)軌上。本發(fā)明的有益效果是載板既能沿水平方向左右、前后移動(dòng)，也能夠沿水平方向旋轉(zhuǎn)180°，使兩塊載板都能以相同的朝向與自動(dòng)化設(shè)備對(duì)接，方便地對(duì)接自動(dòng)化產(chǎn)線或鍍膜設(shè)備腔體的載板導(dǎo)軌。