一種量產(chǎn)型立式CVD上下片集成自動化生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210157306.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114551312A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114551312A 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L21/677（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠;王祥遠 申請（專利權）人 江西漢可泛半導體技術有限公司
代理機構 南昌賢達專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 332020江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種量產(chǎn)型立式CVD上下片集成自動化生產(chǎn)線，包括：硅片自動化上料區(qū)、小載板自動化上料輸送回轉區(qū)、大載板自動化上料區(qū)、大載板自動化上料回轉區(qū)、大載板自動化下料區(qū)、大載板自動化下料回轉區(qū)、小載板自動化下料輸送回轉區(qū)和硅片自動化下料區(qū)，硅片自動化上料區(qū)、大載板自動化上料區(qū)和大載板自動化輸送回轉區(qū)設置在小載板自動化上料輸送回轉區(qū)一側，大載板自動化下料區(qū)、大載板自動化下料回轉區(qū)和硅片自動化下料區(qū)設置在小載板自動化下料輸送回轉區(qū)一側。本發(fā)明中，生產(chǎn)線劃分不同的區(qū)域，使雜亂的生產(chǎn)現(xiàn)場規(guī)劃的整潔美觀，且可以節(jié)約生產(chǎn)線占用的空間；大幅提高了生產(chǎn)效率，降低了勞動強度，減少了人工的投入；整個生產(chǎn)線布局合理。