一種單晶硅異質(zhì)結(jié)太陽電池HWCVD設備的載板凹槽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122483484.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216054753U 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN216054753U 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01L31/20（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠 申請（專利權(quán)）人 江西漢可泛半導體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王煥巧
地址 332020江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶硅異質(zhì)結(jié)太陽電池HWCVD設備的載板凹槽，包括梯形放置槽，所述梯形放置槽的內(nèi)部兩側(cè)分別設有第一夾片以及第二夾片，所述梯形放置槽的內(nèi)部兩側(cè)還設有連接組件，且第一夾片以及第二夾片均與梯形放置槽通過連接組件連接；連接組件包括第一滑桿，所述第一滑桿設置在第一夾片以及第二夾片一端相遠離的一側(cè)。本實用新型通過第一滑桿配合第一彈簧使第一夾片以及第二夾片的端部夾緊硅片，第二滑桿配合第二彈簧使第一夾片以及第二夾片的中部夾緊硅片，從而加固硅片，防止硅片從梯形放置槽中掉落，該載板凹槽便于硅片的放入，且硅片放入后具有加固處理，不僅有效地避免硅片邊角被壓碎，而且提高了太陽電池的加工效率。