一種載板回轉(zhuǎn)移動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220398113.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216871923U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216871923U 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠;代和松 申請（專利權(quán)）人 江西漢可泛半導體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 南昌賢達專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 332020江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種載板回轉(zhuǎn)移動裝置，涉及硅片生產(chǎn)設備技術(shù)領域，包括基座、移動框架、回轉(zhuǎn)框架和載板，移動框架沿水平方向左右滑動設置在基座上，移動框架上設置有回轉(zhuǎn)驅(qū)動齒輪、從動內(nèi)齒輪及旋轉(zhuǎn)電機，回轉(zhuǎn)驅(qū)動齒輪與從動內(nèi)齒輪嚙合而能帶動從動內(nèi)齒輪沿水平方向旋轉(zhuǎn)，回轉(zhuǎn)框架設置在從動內(nèi)齒輪上而能隨從動內(nèi)齒輪同步旋轉(zhuǎn)，移動框架上設置有夾緊裝置以對回轉(zhuǎn)框架進行夾緊，限制回轉(zhuǎn)框架旋轉(zhuǎn)，回轉(zhuǎn)框架上設置有導軌，載板沿水平方向前后滑動設置在導軌上。本實用新型的有益效果是載板既能沿水平方向左右、前后移動，也能夠沿水平方向旋轉(zhuǎn)180°，使兩塊載板都能以相同的朝向與自動化設備對接，方便地對接自動化產(chǎn)線或鍍膜設備腔體的載板導軌。