一種自動化上料電池片到大載板的緩存系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210207561.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114664713A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114664713A 申請公布日 2022-06-24
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L31/20（2006.01）I;C23C16/24（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠;王祥遠(yuǎn) 申請（專利權(quán)）人 江西漢可泛半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌賢達(dá)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 332020江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自動化上料電池片到大載板的緩存系統(tǒng)及方法，涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括緩存換面中轉(zhuǎn)臺及配置在緩存換面中轉(zhuǎn)臺一側(cè)的抓取裝置、大載板和小載板；緩存換面中轉(zhuǎn)臺、大載板和小載板上均具有用于裝載硅片的放置槽；抓取裝置能夠抓取大載板上的硅片并轉(zhuǎn)移至緩存換面中轉(zhuǎn)臺上，還能夠抓取小載板上的硅片并轉(zhuǎn)移至大載板上。本發(fā)明的有益效果是通過增加緩存換面中轉(zhuǎn)臺能夠緩存硅片而能夠讓抓取裝置進(jìn)行下一個動作，并通過抓取裝置從上方將硅片放置在緩存換面中轉(zhuǎn)臺下，通過另一抓取裝置從緩存換面中轉(zhuǎn)臺的下方抓取硅片，即可完成硅片翻面，本發(fā)明中的系統(tǒng)模塊化設(shè)計制造，占地空間小，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。