一種水平式多硅片中轉(zhuǎn)機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210207387.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114551314A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114551314A 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠;徐亮 申請（專利權(quán)）人 江西漢可泛半導體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 南昌賢達專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 332020江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種水平式多硅片中轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括：型材架；放置板，其上設(shè)置有若干個通槽；若干個夾持機構(gòu)，其包括兩個固定板、兩個驅(qū)動裝置和若干個夾桿，夾桿上設(shè)置有卡槽，每兩個夾桿為一組設(shè)置在固定板上且該兩個夾桿上的卡槽互相垂直，驅(qū)動裝置傾斜一定角度的設(shè)置在放置板上用于驅(qū)動固定板移動。本發(fā)明采用模擬人的手指方式固定硅片的四個邊角，以達到夾住的目的，同時對硅片進行校正動作，且在與硅片接觸時，最大限度的減少對硅片的磨損，使抓取時對硅片不造成污染，減少不良率；一個驅(qū)動裝置可以同時定位兩個夾桿方向的位置，解決了空間受限問題，可實現(xiàn)一次性水平放置多片，且能同時滿上下兩面進行取放，提高轉(zhuǎn)運效率和靈活性。