一種硅片生產(chǎn)用的抓取裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210207543.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114582789A 公開（公告）日 2022-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN114582789A 申請(qǐng)公布日 2022-06-03
分類號(hào) H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉翠翠;徐亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西漢可泛半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌賢達(dá)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金一嫻
地址 332020 江西省九江市共青城市高新區(qū)科技創(chuàng)新園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片生產(chǎn)用的抓取裝置，包括：連接板；若干個(gè)支架，彼此間隔的設(shè)置在連接板上；若干個(gè)夾持機(jī)構(gòu),包括第一驅(qū)動(dòng)裝置、兩個(gè)支撐件、若干個(gè)手指夾桿和若干個(gè)輔助支撐裝置，手指夾桿上設(shè)置有卡槽，若干個(gè)手指夾桿分別設(shè)置在兩個(gè)支撐件兩側(cè)，且每個(gè)支撐件兩側(cè)的手指夾桿上的卡槽相互垂直，第一驅(qū)動(dòng)裝置傾斜的設(shè)置在支架上用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)支撐件遠(yuǎn)離或靠近。本發(fā)明采用模擬人的手指方式固定硅片的四個(gè)邊角，以達(dá)到夾住的目的，同時(shí)對(duì)硅片進(jìn)行校正動(dòng)作，且在與硅片接觸時(shí)，最大限度的減少對(duì)硅片的磨損，減少不良率；對(duì)硅片放置時(shí)的定位要求遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于吸盤的方式，這樣降低了定位的難度和對(duì)配合的硅片放置的托盤等機(jī)構(gòu)尺寸精度的要求。