一種用于光刻機(jī)的紫外鏡頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721163819.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207232486U 公開(kāi)（公告）日 2018-04-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN207232486U 申請(qǐng)公布日 2018-04-13
分類號(hào) G02B7/02;G03F7/20 分類 光學(xué);
發(fā)明人 錢紹生;楊存波;余永泰;楊勇剛;李云青 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 云南云光發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 昆明今威專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 邵會(huì)昌;趙云
地址 650114 云南省昆明市海口鎮(zhèn)云南云光發(fā)展有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于光刻機(jī)的紫外鏡頭，主要用于用于光刻機(jī)進(jìn)行光刻時(shí)的紫外鏡頭。其主要技術(shù)方案：在外鏡筒內(nèi)，依次同軸安裝第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡；將第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡，依次同軸組裝在內(nèi)筒內(nèi)構(gòu)成一個(gè)中心組；中心組再與外鏡筒內(nèi)的透鏡同軸安裝；最后在外鏡筒的左端，與其它透鏡同軸，依次安裝第九透鏡、第十透鏡。本實(shí)用新型通過(guò)試用證明：從根本上克服了原紫外鏡頭組畸變大、分辨率低的現(xiàn)象，達(dá)到了的所刻制的刻線精度符合技術(shù)指標(biāo)，滿足各類產(chǎn)品的需求。