一種力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010195602.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111256886A 公開（公告）日 2020-06-09
申請公布號 CN111256886A 申請公布日 2020-06-09
分類號 G01L1/18(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆建民;鐘華 申請（專利權）人 華景傳感科技（無錫）有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 華景傳感科技（無錫）有限公司
地址 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種力傳感器，該力傳感器包括：殼體，殼體上設置有開口；壓縮結構，密封設置于殼體的開口處，壓縮結構與殼體形成空腔；壓力感測MEMS芯片，設置于空腔內；ASIC芯片，設置于空腔內，與壓力感測MEMS芯片電連接；其中，壓縮結構與空腔接觸的內表面上設有波紋結構。由此，當壓縮結構受到外力產(chǎn)生形變時，其內表面的紋波結構在外力的作用下產(chǎn)生較大的位移，使得空腔內的空氣受到較大的壓縮，從而在一定程度上提高力傳感器的靈敏度，壓縮后的空氣施壓到壓力感測MEMS芯片表面，壓力感測MEMS芯片將檢測到的力轉換為電信號輸出到ASIC芯片，ASIC芯片將該電信號調理后輸出。該力傳感器能夠滿足新型智能終端產(chǎn)品的小型化設計和高靈敏度的結構設計要求。??