一種力傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010195602.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111256886A | 公開（公告）日 | 2020-06-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111256886A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-09 |
| 分類號(hào) | G01L1/18(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 繆建民;鐘華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 華景傳感科技（無錫）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 華景傳感科技（無錫）有限公司 |
| 地址 | 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園F2 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種力傳感器，該力傳感器包括：殼體，殼體上設(shè)置有開口；壓縮結(jié)構(gòu)，密封設(shè)置于殼體的開口處，壓縮結(jié)構(gòu)與殼體形成空腔；壓力感測(cè)MEMS芯片，設(shè)置于空腔內(nèi)；ASIC芯片，設(shè)置于空腔內(nèi)，與壓力感測(cè)MEMS芯片電連接；其中，壓縮結(jié)構(gòu)與空腔接觸的內(nèi)表面上設(shè)有波紋結(jié)構(gòu)。由此，當(dāng)壓縮結(jié)構(gòu)受到外力產(chǎn)生形變時(shí)，其內(nèi)表面的紋波結(jié)構(gòu)在外力的作用下產(chǎn)生較大的位移，使得空腔內(nèi)的空氣受到較大的壓縮，從而在一定程度上提高力傳感器的靈敏度，壓縮后的空氣施壓到壓力感測(cè)MEMS芯片表面，壓力感測(cè)MEMS芯片將檢測(cè)到的力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出到ASIC芯片，ASIC芯片將該電信號(hào)調(diào)理后輸出。該力傳感器能夠滿足新型智能終端產(chǎn)品的小型化設(shè)計(jì)和高靈敏度的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求。?? |
