一種壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822109514.7 申請日 -
公開（公告）號 CN208998970U 公開（公告）日 2019-06-18
申請公布號 CN208998970U 申請公布日 2019-06-18
分類號 G01L1/18（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆建民; 曹峰 申請（專利權(quán)）人 華景傳感科技（無錫）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 華景傳感科技（無錫）有限公司
地址 214135 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種壓力傳感器。該壓力傳感器包括：襯底；設(shè)置于所述襯底表面的單晶硅層；以及設(shè)置于所述單晶硅層表面的壓感電阻、加熱單元、測溫單元和控制單元，所述控制單元分別與所述加熱單元和所述測溫單元電連接；所述加熱單元設(shè)置于所述壓感電阻周邊。本實(shí)用新型實(shí)施例的方案提高了壓力傳感器的壓力檢測精度，降低了生產(chǎn)成本。