一種重力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011004739.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111965722A 公開（公告）日 2020-11-20
申請公布號 CN111965722A 申請公布日 2020-11-20
分類號 G01V7/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆建民;尹長通;潘孝江 申請（專利權(quán)）人 華景傳感科技（無錫）有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 華景傳感科技（無錫）有限公司
地址 214135 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種重力傳感器，該重力傳感器包括：下蓋板，下蓋板的第一表面設(shè)置有第一凹槽，第一凹槽的深度小于下蓋板的厚度；微機電微機電壓力檢測模塊，位于第一凹槽內(nèi)；上蓋板，覆蓋下蓋板且包圍下蓋板的側(cè)面，其中，上蓋板包括一體成型的重力形變部以及包圍重力形變部的連接部，重力形變部和下蓋板的第一表面圍成密閉腔體，連接部包圍下蓋板的側(cè)面，密閉腔體在下蓋板的投影覆蓋微機電壓力檢測模塊在下蓋板的投影；形變傳遞層，形變傳遞層位于密閉腔體內(nèi)，用于將重力形變部產(chǎn)生的形變傳遞給微機電壓力檢測模塊。本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案，采用了微機電微機電壓力檢測模塊，有效減小了重力傳感器的尺寸。