一種氫等離子法合成硅烷的方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710767288.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107311183A 公開（公告）日 2017-11-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN107311183A 申請(qǐng)公布日 2017-11-03
分類號(hào) C01B33/04(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 許文;吳延煒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 惟盈投資管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都眾恒智合專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王育信
地址 610000 四川省成都市武侯區(qū)人民南路四段28號(hào)22棟1單元10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氫等離子法合成硅烷的方法，該采用氫等離子發(fā)生器將硅粉離子化，離子化后的氫與硅反應(yīng)生成硅烷，在將硅烷和氫氣混合氣急冷后引入混合氣分離系統(tǒng)，從而得到硅烷，而分離后的氫氣循環(huán)使用。該方法采用了成熟的氫等離子技術(shù)、急冷技術(shù)和硅烷與氫分離技術(shù)，具有工藝流程短、投資少、能耗低，沒有其他的化學(xué)物質(zhì)參與反應(yīng)，對(duì)環(huán)境污染小或基本無污染的優(yōu)勢。并且為了更好的實(shí)現(xiàn)上述合成方法，本發(fā)明還提供了一種氫等離子法合成硅烷的裝置——硅烷合成塔，該合成塔設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，合成效果好。