顯微掃描平臺(tái)及工作區(qū)域平面度校準(zhǔn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911320910.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111122583A 公開（公告）日 2020-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN111122583A 申請(qǐng)公布日 2020-05-08
分類號(hào) G01N21/88;G01N25/72 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 閻灼輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州?；萆锟萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉靜
地址 200233 上海市徐匯區(qū)桂平路333號(hào)6號(hào)樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及顯微鏡掃描技術(shù)領(lǐng)域，尤其為顯微掃描平臺(tái)，包括掃描平臺(tái)，所述掃描平臺(tái)為工作臺(tái)，且工作臺(tái)表面設(shè)有XY坐標(biāo)系，X軸與Y軸的零點(diǎn)交接于掃描平臺(tái)的拐角處，故X軸與Y軸所形成面積位于坐標(biāo)系的第一象限，且X軸與Y軸坐標(biāo)值均為正值，顯微掃描平臺(tái)工作區(qū)域平面度的校準(zhǔn)方法。本發(fā)明通過采用X軸和Y軸來(lái)對(duì)掃描平臺(tái)進(jìn)行快速全面的掃描，并通過坐標(biāo)系來(lái)對(duì)掃描平臺(tái)的缺陷處進(jìn)行確定，對(duì)缺陷處進(jìn)行標(biāo)記和記錄，方便工作人員對(duì)掃描平臺(tái)進(jìn)行調(diào)整，對(duì)缺陷處進(jìn)行修正，同時(shí)解決了現(xiàn)有的供顯微掃描平臺(tái)及工作區(qū)域平面度校準(zhǔn)方法無(wú)法對(duì)掃描平臺(tái)進(jìn)行快速掃描，且無(wú)法對(duì)缺陷處的具體位置進(jìn)行確定和調(diào)整的問題。