一種晶圓分選設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210269844.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114535139A 公開（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN114535139A 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類號(hào) B07C5/34（2006.01）I;B07C5/02（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 胡爭(zhēng)光;師利全;李小根;羅東;賀天文;甘恩榮;吳嘉睿 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市鑫三力自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道稔田社區(qū)大洋路126-1號(hào)101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓分選設(shè)備，包括機(jī)架、上料機(jī)構(gòu)、擺臂機(jī)構(gòu)、晶圓平臺(tái)機(jī)構(gòu)、Bin盤平臺(tái)機(jī)構(gòu)、晶圓頂針機(jī)構(gòu)、Bin盤頂膜機(jī)構(gòu)和CCD對(duì)位系統(tǒng)。工作時(shí)，上料機(jī)構(gòu)夾持晶圓盤放入到晶圓平臺(tái)上，上料機(jī)構(gòu)夾持Bin盤放入到Bin盤平臺(tái)上，晶圓平臺(tái)機(jī)構(gòu)移動(dòng)到CCD搜索、對(duì)位位置，CCD對(duì)位系統(tǒng)對(duì)晶圓進(jìn)行搜索、對(duì)位，Bin盤平臺(tái)機(jī)構(gòu)移動(dòng)到CCD對(duì)位、檢測(cè)位置，CCD對(duì)位系統(tǒng)對(duì)晶圓進(jìn)行對(duì)位、檢測(cè)，晶圓頂針機(jī)構(gòu)將晶圓上的晶粒頂出，擺臂機(jī)構(gòu)上的吸嘴吸住晶粒，擺臂機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，Bin盤頂針機(jī)構(gòu)頂起B(yǎng)in盤膜，擺臂機(jī)構(gòu)將晶粒放置在Bin盤上。本發(fā)明的高速晶圓分選設(shè)備具有速度塊、精度高、適用產(chǎn)品類型多等特點(diǎn)。