半導(dǎo)體器件及制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110274455.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113066853A 公開(kāi)(公告)日 2021-07-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113066853A 申請(qǐng)公布日 2021-07-02
分類(lèi)號(hào) H01L29/06;H01L27/02 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱袁正;周錦程;葉鵬;楊卓;劉晶晶 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 無(wú)錫新潔能股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市興為專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 屠志力
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市高浪東路999號(hào)B1號(hào)樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體器件,包括:P型襯底,在P型襯底上設(shè)有N型摻雜外延層,在N型摻雜外延層上設(shè)有高壓區(qū)和低壓區(qū),在高壓區(qū)與低壓區(qū)之間設(shè)有高低壓結(jié)終端區(qū),在低壓區(qū)和高低壓結(jié)終端區(qū)之間設(shè)有第一P型隔離柱,在高壓區(qū)和高低壓結(jié)終端區(qū)之間設(shè)有第二P型隔離柱,在第一P型隔離柱上連接第二P型隔離柱,所述第一P型隔離柱和第二P型隔離柱形成一個(gè)或多個(gè)封閉區(qū)域,高壓器件設(shè)置在所述封閉區(qū)域中。所述高壓器件為JFET器件、LDMOS器件、LIGBT器件、功率二極管器件中的一種或多種。本發(fā)明提高了芯片面積的利用率,從而降低了集成電路的成本。