精密外轉(zhuǎn)子氣浮拋光裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910535733.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110253407A 公開(kāi)（公告）日 2019-09-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN110253407A 申請(qǐng)公布日 2019-09-20
分類號(hào) B24B29/02（2006.01）I; B24B41/04（2006.01）I; B24B55/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 田碩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市華騰半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市興科達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市華騰半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道留仙大道1201號(hào)平山工業(yè)區(qū)17棟109號(hào)2層2號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種精密外轉(zhuǎn)子氣浮拋光裝置，本發(fā)明轉(zhuǎn)動(dòng)的拋光筒位于氣浮軸承的外側(cè)，拋光筒內(nèi)部和外部均與空氣接觸，大大增加了散熱效率，因此不需要專門設(shè)置散熱結(jié)構(gòu)；徑向軸承采用小孔節(jié)流，軸向軸承采用多孔質(zhì)，這樣保證氣浮主軸在磨削時(shí)徑向具有比較大的承載力，軸向具有比較高的剛度。