一種半導(dǎo)體芯片單元加工的封裝方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011623649.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112838012A 公開(公告)日 2021-05-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN112838012A 申請(qǐng)公布日 2021-05-25
分類號(hào) H01L23/367(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 趙浩;張靜;陳博;黎載紅 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海波匯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201613上海市松江區(qū)中辰路299號(hào)1幢103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體芯片單元加工的封裝方法,其特征在于,所述芯片單元加工的封裝方法包括以下流程:第一階段:先對(duì)材料進(jìn)貼膜,所述貼膜完成后通過(guò)磨削,研磨,化學(xué)機(jī)械拋光,干式拋光,電化學(xué)腐蝕等方法對(duì)硅片減薄,所述減薄完成后對(duì)硅片去膜,貼片切割;通過(guò)采用機(jī)械的方式對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行切割,所述烘培完成后,所述切割完成后對(duì)引腳進(jìn)行成型,本發(fā)明可對(duì)封裝過(guò)程進(jìn)行優(yōu)化,同時(shí)增加了檢測(cè)的步驟,避免發(fā)生成品制造完成后,產(chǎn)品不合格,而無(wú)法進(jìn)行修復(fù)的問(wèn)題出現(xiàn),提高了芯片的成品率,同時(shí)增加了芯片的強(qiáng)度,同時(shí)通過(guò)采用的封裝方式能使得整個(gè)芯片封裝結(jié)構(gòu)得以提升,降低封裝翹曲和提高散熱效果。??