多極網(wǎng)格離子發(fā)射加速器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN93213940.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN2164417Y 公開（公告）日 1994-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN2164417Y 申請(qǐng)公布日 1994-05-11
分類號(hào) C23C14/35 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 倪振中 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆明航天科發(fā)鍍膜公司
代理機(jī)構(gòu) 云南省專利事務(wù)所 代理人 孫月紅
地址 650206云南省昆明市東郊八公里通字301昆明物資站
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種用于鍍膜機(jī)上可與同軸磁控濺射靶配套使用的多極網(wǎng)格離子發(fā)射加速器，它利用金屬環(huán)(1)和支撐環(huán)的兩層金屬桿(2)以及金屬桿上及外圍裝有的發(fā)熱裝置(4)(5)和加速電極裝置(3)構(gòu)成一多極網(wǎng)格型離子發(fā)射加速器，在磁控濺射離子鍍膜中起到離子發(fā)射加速及發(fā)熱作用，以增強(qiáng)鍍膜層與基體的結(jié)合強(qiáng)度及加快鍍膜周期。由于本實(shí)用新型偏壓采用電子—離子加速—離子結(jié)合形式，使基板(工件)所收集到的離子流是靶電流的10—15％。