一種深紫外斜入射高分辨率暗場照明光學系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011162660.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112162395A | 公開（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申請公布號 | CN112162395A | 申請公布日 | 2021-01-01 |
| 分類號 | G02B21/10(2006.01)I;G02B21/16(2006.01)I | 分類 | 光學; |
| 發(fā)明人 | 林子棋 | 申請（專利權(quán)）人 | 合肥市納諾半導體有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京中濟緯天專利代理有限公司 | 代理人 | 江蘇三米科思半導體設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)望江西路800號創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園一期D8-2256 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及光學系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種深紫外斜入射高分辨率暗場照明光學系統(tǒng)，包括光源、擴束鏡、波片、光束偏轉(zhuǎn)器、中繼鏡、物鏡和工作臺，光源負責提供照明光源，光源可以選擇激光或者氣體放電燈，該光源的輻射波長為0.19~0.28微米范圍內(nèi)，可以包含單色光或者復(fù)色光，其輻射方式可以使用脈沖輻射或者連續(xù)輻射，擴束鏡負責將光束擴束到一定尺寸。本發(fā)明能夠滿足納米級的散射光暗場檢測精度對照明光學系統(tǒng)的需求，而且使用了0.19~0.28微米波長的光源，聚焦光斑小于0.68微米，在光軸方向上的工作距離超過了50mm，并具有結(jié)構(gòu)緊湊、高像質(zhì)、低畸變、高分辨率等特點，能夠滿足不同應(yīng)用場景下的使用需求。?? |
