一種化學液處理回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022586253.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214597534U 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN214597534U 申請公布日 2021-11-05
分類號 B01D29/50（2006.01）I;B01D29/03（2006.01）I;B01D29/01（2006.01）I;B01D29/56（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 徐權鋒 申請（專利權）人 芯米（廈門）半導體設備有限公司
代理機構 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風路6號第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種化學液處理回收裝置，包括預處理罐、進液裝置、導管、泵體、第一輸送管、第一容器、第二容器、第一濾網(wǎng)、回收池、罐蓋、連接件、卡塊和導流板，所述預處理罐頂端設置有進液裝置，預處理罐右側設置有導管，所述導管上設置有泵體，導管一端與預處理器相通，另一端設置有三通管，所述三通管一端設置有第一輸送管，所述第一輸送管上設置有第一止回閥，所述三通管另一端設置有第二輸送管，第二輸送管與第二容器相通，本實用新型的化學液處理回收裝置，可以通過不同的處理容器對化學液進行回收處理，并且在整個處理過程中，化學液均處于密封狀態(tài)的情況下進行回收，很大程度上減少了化學液的污染和被稀釋問。