一種卡榫及具有其的真空馬達(dá)式晶圓吸盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110667887.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113565885A 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN113565885A 申請公布日 2021-10-29
分類號 F16D1/08;F16B21/12;H01L21/683 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 許志雄 申請（專利權(quán)）人 芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蔡稷元
地址 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風(fēng)路6號第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種卡榫及具有其的真空馬達(dá)式晶圓吸盤，具有卡榫的真空馬達(dá)式晶圓吸盤包括卡榫、動(dòng)力單元和吸盤本體，動(dòng)力單元設(shè)置有容置凹槽，空心軸上設(shè)置有安裝孔?？ㄩ镜闹胁吭O(shè)置有避讓軸段，沿著避讓軸段的兩端延伸設(shè)置有固定軸段，固定軸段與避讓軸段之間設(shè)置有配合軸段，配合軸段的側(cè)面至少對稱設(shè)置有兩個(gè)配合平面?？ㄩ就ㄟ^配合平面安裝在凹槽內(nèi)，吸盤本體與動(dòng)力單元之間是為上下套接的狀態(tài)，吸盤本體由上至下的套接在動(dòng)力單元的輸出軸上。而通過避讓軸段可以連通中心孔與吸盤本體上的真空氣道，使得吸盤本體的頂面上具有吸附力。利用卡榫與凹槽的配合，以及凹槽、安裝孔和吸盤本體頂面相互平行的設(shè)置，以保證配合精度，提高晶圓生產(chǎn)的質(zhì)量。