雙緩沖型光阻液噴涂系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010263934.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111451061B 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN111451061B 申請公布日 2021-12-31
分類號 B05B15/40（2018.01）I;B05B9/04（2006.01）I;B05B12/14（2006.01）I;B01D35/12（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 尹安和 申請（專利權(quán)）人 芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風(fēng)路6號第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙緩沖型光阻液噴涂系統(tǒng)，其特征在于，包括：第一儲液罐，第一過濾器；第一緩沖器；所述第一過濾器設(shè)置于所述第一儲液罐與所述第一緩沖器之間；所述第一緩沖器連接有第一回抽管；所述第一回抽管安裝有第一回抽泵；第二儲液罐；第二過濾器；第二緩沖器；所述第二過濾器設(shè)置于所述第二儲液罐與所述第二緩沖器之間；所述第二緩沖器連接有第二回抽管；所述第二回抽管安裝有第二回抽泵；還包括以下兩種結(jié)構(gòu)的其中一種：第一種結(jié)構(gòu)，包括選擇機(jī)構(gòu)和總光阻液泵；第二種結(jié)構(gòu)，包括選擇機(jī)構(gòu)、第一光阻液泵和第二光阻液泵。所述雙緩沖型光阻液噴涂系統(tǒng)能夠更好地節(jié)省光阻液，并且保證光阻液供應(yīng)不停機(jī)。