晶圓表面干燥吹掃設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022586331.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214099588U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN214099588U 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許志雄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯米（廈門(mén)）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)仕誠(chéng)聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風(fēng)路6號(hào)第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 晶圓表面干燥吹掃設(shè)備，包括機(jī)架、干燥架、氮?dú)夤?yīng)裝置、清洗箱以及夾持塊，所述機(jī)架內(nèi)置工作空腔，工作空腔前端設(shè)置密封門(mén)，所述機(jī)架頂端設(shè)置驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出端設(shè)置旋轉(zhuǎn)桿，所述旋轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)電機(jī)一端穿過(guò)機(jī)架側(cè)壁伸入工作空腔內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)電機(jī)一端設(shè)置干燥架，所述干燥架矩形框架，所述干燥架左右兩側(cè)內(nèi)壁設(shè)置第一液壓桿，干燥架上下兩側(cè)側(cè)壁設(shè)置第二液壓桿，所述第一液壓桿以及第二液壓桿輸出端設(shè)置夾持塊，所述夾持塊遠(yuǎn)離干燥架側(cè)壁一端設(shè)置凹槽，所述工作空腔左側(cè)底端設(shè)置氮?dú)夤?yīng)裝置，所述工作空腔位于干燥架左側(cè)設(shè)置氮?dú)鈬娮?，所述氮?dú)夤?yīng)裝置輸出端與氮?dú)鈬娮熘g設(shè)置輸送管道。