顯影液分類回收處理設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022588351.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214597458U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN214597458U 申請(qǐng)公布日 2021-11-05
分類號(hào) B01D29/03（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 許志雄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯米（廈門(mén)）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)仕誠(chéng)聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風(fēng)路6號(hào)第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型為顯影液分類回收處理設(shè)備，包括殼體，所述殼體包括進(jìn)料口、進(jìn)料斗、成分檢測(cè)器、第一收集罐、第二收集罐、第一排水管、第二排水管以及控制器，所述進(jìn)料斗位于所述殼體的頂端，所述進(jìn)料口位于所述殼體的頂端，所述進(jìn)料口連通所述進(jìn)料口的內(nèi)部，所述成分檢測(cè)器位于所述殼體的頂端，且所述成分檢測(cè)器靠近所述進(jìn)料斗，所述成分檢測(cè)器上設(shè)有檢測(cè)頭，所述檢測(cè)頭連通所述進(jìn)料斗的內(nèi)部，通過(guò)成分檢測(cè)器對(duì)進(jìn)料斗內(nèi)部的物料進(jìn)行檢測(cè)，如果是顯影液將打開(kāi)第一藥業(yè)閥，如果是DI水將打開(kāi)第二藥業(yè)閥，通過(guò)第一收集罐和第二收集罐進(jìn)行分類儲(chǔ)存，通過(guò)第一排水管和第二排水管進(jìn)行排放到工作人員指定區(qū)域。