半導(dǎo)體基板烘烤裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022586357.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214099589U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN214099589U 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐權(quán)鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯米（廈門(mén)）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)仕誠(chéng)聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風(fēng)路6號(hào)第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體基板烘烤裝置，包括箱體，所述箱體包括烘烤槽、烘烤板、基板固定裝置、門(mén)板、烘烤機(jī)以及轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)，所述烘烤槽位于箱體內(nèi)部，且所述烘烤槽設(shè)有多個(gè)，所述烘烤板設(shè)置在箱體內(nèi)部，且位于烘烤槽的上端以及下端，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)安裝在箱體的外側(cè)，且轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)位于烘烤槽的外側(cè)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)設(shè)有多個(gè)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸貫穿箱體伸入烘烤槽內(nèi)，所述基板固定裝置安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸伸入烘烤槽內(nèi)的一端，所述基板烘烤槽內(nèi)設(shè)有安裝槽，箱體的底部設(shè)有安裝箱，所述烘烤機(jī)安裝在安裝箱內(nèi)，所述烘烤板內(nèi)設(shè)有烘烤管，所述烘烤機(jī)與烘烤管之間設(shè)有導(dǎo)熱管連接，所述導(dǎo)熱管上設(shè)有調(diào)溫塊。