光刻膠收集裝置自動清洗系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022577530.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214516414U 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN214516414U 申請公布日 2021-10-29
分類號 B08B3/12（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B9/093（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 吳永利 申請（專利權(quán)）人 芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門仕誠聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)春風(fēng)路6號第三層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光刻膠收集裝置自動清洗系統(tǒng)，包括清洗液罐、收集裝置、集液箱、導(dǎo)液管、第一泵體、超聲波清理裝置、濾網(wǎng)、循環(huán)管、PLC控制系統(tǒng)、觸摸屏和噴嘴，所述清洗液罐頂端設(shè)置有進(jìn)液口，清洗液罐右側(cè)上設(shè)置有導(dǎo)液管，所述導(dǎo)液管一端與清洗液罐相通，另一端設(shè)置有第一泵體，所述第一泵體一端設(shè)置有輸送管，輸送管穿過收集裝置外殼設(shè)置在收集裝置內(nèi)部，所述輸送管上設(shè)置有通管，所述通管底端設(shè)置有噴嘴，所述收集裝置內(nèi)部兩側(cè)設(shè)置有超聲波清理裝置，收集裝置底端設(shè)置有導(dǎo)流板，PLC控制系統(tǒng)可以使整個(gè)清洗系統(tǒng)進(jìn)行編程控制的，使各個(gè)單元的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間可以根據(jù)要求增減，清洗的順序可以改變，方便操作。