晶圓測試用旋轉(zhuǎn)升降臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022207349.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212907697U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN212907697U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄭福志;田學光;高躍紅;孫德舉;王毓樟 | 申請（專利權(quán)）人 | 長春光華微電子設備工程中心有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 長春中科長光知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130102吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)盛北小街1188號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種晶圓測試用旋轉(zhuǎn)升降臺，包括驅(qū)動機構(gòu)、導向機構(gòu)、轉(zhuǎn)動機構(gòu)、工作臺，導向機構(gòu)位于驅(qū)動機構(gòu)上方，且導向機構(gòu)通過絲杠組與驅(qū)動機構(gòu)連接，驅(qū)動機構(gòu)通過絲杠組帶動導向機構(gòu)沿主導向軸與副導向軸上下運動；工作臺位于導向機構(gòu)上方，工作臺隨著導向機構(gòu)上下運動；在轉(zhuǎn)動機構(gòu)的驅(qū)動下，工作臺可與軸套一同以軸承中心為圓心轉(zhuǎn)動。本實用新型采用多絲桿傳動，雙導向軸導向的方法使得旋轉(zhuǎn)升降臺獲得更高的豎直運動直線度且具有高定位精度的特點，同時實現(xiàn)對晶圓旋轉(zhuǎn)的精確矯正，從而能夠更好的完成晶圓測試工作。?? |
