高低溫測試工作盤的平面度補償方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011391915.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112578267A | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN112578267A | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | G01R31/28(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 高躍紅;王蕾;李彥勛;張雷;姜鑫;田學(xué)光;鄭福志;王骕 | 申請（專利權(quán)）人 | 長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 長春中科長光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130102吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)盛北小街1188號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種高低溫測試工作盤的平面度補償方法，包括S1、以基于晶圓構(gòu)建的map圖的中心為中心點，將map圖劃分為不同的補償區(qū)域，分別包括以中心點為中心的中心補償區(qū)域和圍繞中心補償區(qū)域的多個外圍補償區(qū)域；S2、以每個補償區(qū)域的中心點作為對焦位置，沿Z軸方向移動晶圓，將每個補償區(qū)域的中心點分別與相機進行對焦，獲得每個補償區(qū)域的Z軸高度值；S3、將中心補償區(qū)域的Z軸高度值作為基準(zhǔn)，計算與每個外圍補償區(qū)域的Z軸高度值的高度差；S4、根據(jù)計算出的各高度差對各外圍補償區(qū)域的高度進行補償。本發(fā)明通過對補償區(qū)域的劃分，實現(xiàn)對平面度的精確補償，使針卡與晶圓各部分接觸高度誤差減小，保證針痕的一致性，及各部分針卡使用情況一致性。?? |
