一種晶圓自動(dòng)對(duì)針裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110120229.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112798933A 公開（公告）日 2021-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN112798933A 申請(qǐng)公布日 2021-05-14
分類號(hào) G01R31/28;G01R1/067;H01L21/68 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 田學(xué)光;高躍紅;鄭福志;孫德舉;王蕾;王骕 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)春中科長(zhǎng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高一明;郭婷
地址 130102 吉林省長(zhǎng)春市北湖科技開發(fā)區(qū)盛北小街1188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓自動(dòng)對(duì)針裝置及方法，包括：由鏡頭表面有十字絲標(biāo)志的相機(jī)組成的圖像采集組件、通過光柵尺進(jìn)行定值運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)組件、數(shù)據(jù)處理組件、用于承載待對(duì)針晶圓的晶圓托盤、與待對(duì)針晶圓進(jìn)行對(duì)針的探針卡；圖像采集組件用于采集晶圓托盤、探針卡和待對(duì)針晶圓的圖像，并將圖像傳遞至數(shù)據(jù)處理組件；數(shù)據(jù)處理組件用于處理接收到的圖像數(shù)據(jù)，并根據(jù)數(shù)據(jù)計(jì)算出對(duì)針參數(shù)；晶圓托盤與運(yùn)動(dòng)組件連接固定，通過運(yùn)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)晶圓托盤進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明通過圖像識(shí)別及光柵尺定位的方式進(jìn)行晶圓對(duì)針，可同時(shí)完成X向、Y向和Z向三個(gè)方向的對(duì)針；不借助于標(biāo)定塊，減少安裝難度及對(duì)針操作步驟；對(duì)針方法簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)處理更加準(zhǔn)確，提高對(duì)準(zhǔn)精度和效率。