一種大負(fù)載晶圓針卡翻轉(zhuǎn)調(diào)平機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910190485.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109870597B 公開（公告）日 2021-03-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN109870597B 申請(qǐng)公布日 2021-03-26
分類號(hào) G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王骕;田學(xué)光;鄭福志;高躍紅;孫德舉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中理通專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉慧宇
地址 130102吉林省長(zhǎng)春市北湖科技開發(fā)區(qū)盛北小街1188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 具體涉及一種大負(fù)載晶圓針卡翻轉(zhuǎn)調(diào)平機(jī)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域，為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，其包括左立板、右立板、四根氣彈簧組件、右旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)、左旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)、拉線機(jī)構(gòu)、兩個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)、上蓋板和針卡固定組件；右旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)固定在右立板上，左旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)用螺釘固定在左立板上；兩根氣彈簧組件上端與右旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)連接，下端與右立板相連；另外兩根氣彈簧組件上端與左旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)相連，下端與左立板相連；拉線機(jī)構(gòu)固定在右立板上；兩個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)分別固定在左立板和右立板上；上蓋板固定在兩個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)、右旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)和左旋轉(zhuǎn)支臂機(jī)構(gòu)上；針卡固定組件固定在上蓋板上。該機(jī)構(gòu)能夠可靠穩(wěn)定得使上蓋板翻轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)針卡高精度定位。??