夾持載臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022907703.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213340329U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213340329U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 何艷;吳夢(mèng)晗;常豐吉;邢鵬展;張男男;梁崑;李華;劉遵明;陳治衡 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)春中科長(zhǎng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 郭婷;高一明 |
| 地址 | 130102吉林省長(zhǎng)春市北湖科技開(kāi)發(fā)區(qū)盛北小街1188號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供夾持載臺(tái)，包括：八軸同步運(yùn)動(dòng)的八軸中心定位組件、上工作臺(tái)、下工作臺(tái)；八軸中心定位組件包括同步進(jìn)行夾持動(dòng)作和/或同步解除夾持動(dòng)作的X向夾持組件和Y向夾持組件；八軸中心定位組件、上工作臺(tái)都與下工作臺(tái)連接固定；陶瓷基板置于上工作臺(tái)對(duì)應(yīng)凹槽，通過(guò)八軸中心定位組件夾緊陶瓷基板邊緣進(jìn)行中心定位并固定。本實(shí)用新型通過(guò)X向聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)與Y向聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的傳遞，實(shí)現(xiàn)X向夾持與Y向夾持同步進(jìn)行，相比X向夾持與Y向夾持分別進(jìn)行，提高中心定位精度，減少夾持動(dòng)作所需時(shí)間與進(jìn)行步驟，并減少夾持動(dòng)作帶給基板的沖擊力。本實(shí)用新型還使用復(fù)位彈簧，利用柔性彈簧力來(lái)實(shí)現(xiàn)夾持功能。?? |
