一種電容器結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210314864.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114420678B 公開（公告）日 2022-06-07
申請公布號 CN114420678B 申請公布日 2022-06-07
分類號 H01L23/64（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李文曉 申請（專利權(quán)）人 威海嘉瑞光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州三英知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 264200山東省威海市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)崮山鎮(zhèn)皂埠路南、金諾路西廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電容器結(jié)構(gòu)及其制作方法，涉及半導(dǎo)體芯片封裝制造領(lǐng)域。本發(fā)明先形成電容介質(zhì)層，再形成在電容介質(zhì)層上的第一電極層，然后通過混合鍵合形成第一電極層的電互連，最后再形成第二電極層，這樣可以使得電容器的各層都得到很好的支撐，不會產(chǎn)生傾斜或傾倒問題，保證電容器的可靠性。