一種銦錫氧化物陶瓷靶材的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810034431.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108218419B | 公開（公告）日 | 2018-06-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108218419B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-29 |
| 分類號(hào) | C04B35/457(2006.01)I | 分類 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧波納諾特新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧波奧圣專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 寧波納諾特新材料科技有限公司 |
| 地址 | 315300浙江省寧波市慈溪市古塘街道擔(dān)山北路145號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種銦錫氧化物陶瓷靶材的制備方法，其在陶瓷坯體成型過程中，對(duì)模具保壓的同時(shí)以150~220℃保溫10~50min，實(shí)現(xiàn)坯體內(nèi)部顆粒間的微區(qū)水熱反應(yīng)，達(dá)到物質(zhì)傳輸、顆粒圓滑等目的；之后使模具升溫至270~400℃并在該溫度下繼續(xù)保溫保壓10~50min，實(shí)現(xiàn)顆粒間水的超臨界化，水中溶解的無機(jī)物在晶界均勻析出，最終達(dá)到晶粒間相互“焊接”的作用，從而有效提升坯體樣塊的致密度，有助于降低最終制得的ITO靶材的致密度和燒結(jié)溫度；本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了低于1500℃的致密燒結(jié)，得到的ITO靶材的晶粒尺寸為5~10μm，相對(duì)密度大于99.5%，內(nèi)部結(jié)構(gòu)為氧化銦的立方相結(jié)構(gòu)，沒有任何第二相物質(zhì)產(chǎn)生。?? |
