一種氮化鈦鋯鈮氮梯度硬質(zhì)反應(yīng)膜的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310514050.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103556119B 公開（公告）日 2015-12-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN103556119B 申請(qǐng)公布日 2015-12-09
分類號(hào) C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張鈞;豐宇;尹利燕;張健;焦悅;蔡佳婧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 貴州中德西格姆精密制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽東大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 戚羽
地址 110044 遼寧省沈陽市大東區(qū)望花南街21號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氮化鈦鋯鈮氮梯度硬質(zhì)反應(yīng)膜的制備方法，其制備方法依次包括：1、沉積技術(shù)及靶材成分的確定；2、工件的選擇與前處理；3、預(yù)轟擊工藝的確定；4、沉積工藝的確定；5、真空加熱處理；6、工件旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明降低了鍍膜成本，保證了低摩擦系數(shù)、高膜層硬度和高附著力的同時(shí)實(shí)現(xiàn)，減小膜層的內(nèi)應(yīng)力，并具有良好的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。