一種氮化鈦鋯鈮氮梯度硬質(zhì)反應膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310514050.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103556119B 公開（公告）日 2015-12-09
申請公布號 CN103556119B 申請公布日 2015-12-09
分類號 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張鈞;豐宇;尹利燕;張健;焦悅;蔡佳婧 申請（專利權(quán)）人 貴州中德西格姆精密制造有限公司
代理機構(gòu) 沈陽東大知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 戚羽
地址 110044 遼寧省沈陽市大東區(qū)望花南街21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氮化鈦鋯鈮氮梯度硬質(zhì)反應膜的制備方法，其制備方法依次包括：1、沉積技術(shù)及靶材成分的確定；2、工件的選擇與前處理；3、預轟擊工藝的確定；4、沉積工藝的確定；5、真空加熱處理；6、工件旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明降低了鍍膜成本，保證了低摩擦系數(shù)、高膜層硬度和高附著力的同時實現(xiàn)，減小膜層的內(nèi)應力，并具有良好的穩(wěn)定性和可重復性。