一種空心陰極等離子鍍氮化鈦薄膜的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910201846.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109837530B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109837530B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/513;C23C16/458;C23C16/02;C23C16/34;B24B19/00 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 潘文高;李朝明;韓虹;杜森;李運(yùn)紅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海離原環(huán)境科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200241 上海市閔行區(qū)東川路555號(hào)乙樓一層1001室（集中登記地） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種空心陰極等離子鍍氮化鈦薄膜的裝置，包括底板、開(kāi)放式箱體和鍍膜箱，開(kāi)放式箱體和鍍膜箱分別固定設(shè)置在底板頂端的兩側(cè)，開(kāi)放式箱體內(nèi)腔頂端的兩側(cè)均設(shè)置有第一電動(dòng)推桿，第一電動(dòng)推桿的底端固定設(shè)置有用于打磨工件的打磨機(jī)構(gòu)，開(kāi)放式箱體內(nèi)腔中部的兩側(cè)均設(shè)置有用于夾緊工件的夾緊機(jī)構(gòu)，夾緊機(jī)構(gòu)的一端穿過(guò)開(kāi)放式箱體并置于其外部，開(kāi)放式箱體內(nèi)腔的底端設(shè)置有清洗槽。本發(fā)明一種空心陰極等離子鍍氮化鈦薄膜的裝置，通過(guò)設(shè)有的打磨機(jī)構(gòu)，能夠?qū)ぜ谋砻娲蚰?，減小工件表面的粗糙度，增強(qiáng)拋光工件鍍膜后基體表面與薄膜的結(jié)合力，通過(guò)向清洗槽內(nèi)注入特殊的清洗劑，利用超聲波對(duì)油污層進(jìn)行沖刷破壞。 |
