一種空心陰極等離子鍍氮化鈦薄膜的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910201846.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109837530B 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN109837530B 申請公布日 2021-04-30
分類號 C23C16/513;C23C16/458;C23C16/02;C23C16/34;B24B19/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 潘文高;李朝明;韓虹;杜森;李運紅 申請（專利權(quán)）人 上海離原環(huán)境科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200241 上海市閔行區(qū)東川路555號乙樓一層1001室（集中登記地）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種空心陰極等離子鍍氮化鈦薄膜的裝置，包括底板、開放式箱體和鍍膜箱，開放式箱體和鍍膜箱分別固定設置在底板頂端的兩側(cè)，開放式箱體內(nèi)腔頂端的兩側(cè)均設置有第一電動推桿，第一電動推桿的底端固定設置有用于打磨工件的打磨機構(gòu)，開放式箱體內(nèi)腔中部的兩側(cè)均設置有用于夾緊工件的夾緊機構(gòu)，夾緊機構(gòu)的一端穿過開放式箱體并置于其外部，開放式箱體內(nèi)腔的底端設置有清洗槽。本發(fā)明一種空心陰極等離子鍍氮化鈦薄膜的裝置，通過設有的打磨機構(gòu)，能夠?qū)ぜ谋砻娲蚰?，減小工件表面的粗糙度，增強拋光工件鍍膜后基體表面與薄膜的結(jié)合力，通過向清洗槽內(nèi)注入特殊的清洗劑，利用超聲波對油污層進行沖刷破壞。