一種物理氣相沉積金屬陶瓷復(fù)合自潤介質(zhì)涂層及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110788464.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113493896A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號(hào) CN113493896A 申請公布日 2021-10-12
分類號(hào) C23C14/06（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳強(qiáng);張而耕;周瓊;黃彪;梁丹丹;李朝明 申請（專利權(quán)）人 上海離原環(huán)境科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上?？剖⒅R(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 顧艷哲
地址 201418上海市奉賢區(qū)海泉路100號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種物理氣相沉積金屬陶瓷復(fù)合自潤介質(zhì)涂層及制備方法，其中涂層包括通過物理氣相沉積法依次設(shè)于基底上的Ti層、TiN層、TiCN層以及TiCN/a?C層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的Ti?TiN?TiCN?TiCN/a?C多層涂層，以金屬Ti作為打底層、金屬陶瓷TiN做過渡層的多層化設(shè)計(jì)方法，不僅提高了涂層與工模具表面的結(jié)合力，而且可以釋放涂層生長應(yīng)力，延長裂紋的擴(kuò)展距離，使得涂層具有良好的韌性及抗熱震性能，在提高工模具表面性能的同時(shí)，延長其使用壽命，并可適用于有色金屬、高分子材料及黑色金屬的成型加工，具有適用范圍廣、加工性能好等特點(diǎn)。