SiC晶體生長爐測溫窗

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110183818.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN102337592A 公開（公告）日 2012-02-01
申請公布號(hào) CN102337592A 申請公布日 2012-02-01
分類號(hào) C30B29/36(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;G01J5/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李斌;王花;趙付超;周立平;王英民;高德平;毛開禮;徐偉;田牧;張蕾;喬卿;趙琳 申請（專利權(quán)）人 山西爍科新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山西科貝律師事務(wù)所 代理人 中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所;山西爍科新材料有限公司
地址 030024 山西省太原市和平南路115號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種SiC晶體生長爐測溫窗，解決了現(xiàn)有SiC晶體生長爐的觀察窗容易被遮蔽的問題。包括爐體（1），與爐體（1）的底座（2）固定連接的法蘭（3），在法蘭（3）的中央設(shè)置有與爐體（1）的內(nèi)部連通的測溫窗孔，在測溫窗孔上固定連接有夾層連接管（4），在夾層連接管（4）的外層管壁上連有進(jìn)氣管（5），在夾層連接管（4）的內(nèi)層管壁（6）上沿內(nèi)層管壁間隔地并與水平面平行地設(shè)置有一圈小進(jìn)氣孔（12），夾層連接管（4）的下端與觀察窗玻璃（8）固定連接在一起，在夾層連接管（4）的下端的觀察窗玻璃（8）的下方設(shè)置有紅外測溫頭（10）。本發(fā)明的有益效果是，結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉。