一種低密度ITO靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910773128.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110483033B 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN110483033B 申請公布日 2022-02-08
分類號 C04B35/457（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/626（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 葉俊峰;文宏福 申請（專利權(quán)）人 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州駿思知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 程毅
地址 512000 廣東省韶關(guān)市武江區(qū)創(chuàng)業(yè)路5號C幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低密度ITO靶材的制備方法，包括以下步驟：S1、回收ITO廢靶，并對所述ITO廢靶進(jìn)行預(yù)處理，獲得ITO廢靶粉末；S2、制備氫氧化銦漿料，根據(jù)配比，將一定量的所述氫氧化銦漿料與所述ITO廢靶粉末混合、烘干后獲得新配比的ITO粉末；S3、將所述ITO粉末壓制成型獲得坯體，將所述坯體燒結(jié)后獲得所述低密度靶材。相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的低密度ITO靶材通過添加氫氧化銦漿料改變ITO廢靶中的銦、錫配比，利用了氫氧化銦漿料的類似膠體的性質(zhì)，其能夠充分與原ITO粉末混合，并充當(dāng)粘接劑的角色，氫氧化銦脫水形成氧化銦的過程中不會使坯體收縮，保證成型后坯體的體積密度的穩(wěn)定，克服了使用氧化銦作為改變配比的添加劑時引成型起坯體收縮的技術(shù)缺陷。