錫銅合金靶生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910294918.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110016576B 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN110016576B 申請公布日 2022-03-01
分類號 C22C1/02（2006.01）I;C22C1/06（2006.01）I;C22C13/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 許宏智 申請（專利權(quán)）人 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
代理機構(gòu) 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林曉宏
地址 523000廣東省東莞市厚街鎮(zhèn)汀山村汀山路121號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及靶材生產(chǎn)工藝領(lǐng)域，特別是涉及一種錫銅合金靶生產(chǎn)工藝，包括以下步驟，提供錫錠和銅，按需求計算比例配料，復磅，裝爐，開爐，功率開至15～25KW加溫預熱，加溫30分鐘后，增加功率35～45KW，待坩堝底部開始有金屬融化時，增加功率50～60KW，直至錫錠熔化，往坩堝內(nèi)加入銅，并攪拌至銅全部熔化，繼續(xù)攪拌使熔融液體均勻，將加熱爐功率調(diào)到10～25KW，加入除氣劑，并將浮渣撈出，將加熱爐功率調(diào)到10～20KW，攪拌使熔融液體均勻，并調(diào)溫，澆鑄，保溫、靜置、排渣，冷卻，隨后出爐去模具，對靶管機加工，對成品進行C?scan掃描，檢測內(nèi)部無氣孔、裂紋等組織缺陷，經(jīng)氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，漏率≤5×10E?10Pa·m3/s，得到合格錫銅合金靶。本發(fā)明提供一種穩(wěn)定性好、純度高的錫銅合金靶生產(chǎn)工藝。