一種鉬鈮合金旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910379954.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110158042B 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN110158042B 申請公布日 2022-01-18
分類號 C23C14/34（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F1/00（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李培林;文宏福 申請（專利權(quán)）人 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州駿思知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 程毅
地址 512000 廣東省韶關(guān)市武江區(qū)創(chuàng)業(yè)路5號C幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鉬鈮合金旋轉(zhuǎn)靶及其制備方法，其通過將鉬粉和鈮粉裝入模具并在冷等靜壓作用下成為大尺寸的空心鉬鈮管壓坯，隨后裝入包套中真空焊接密封，熱等靜壓燒結(jié)成管坯，在后期機(jī)加工后最終制成鉬鈮旋轉(zhuǎn)靶材。本制備方法能夠減少雜質(zhì)元素的引入，所生產(chǎn)靶材成分均勻、無偏析、晶粒細(xì)小。通過對所得鉬鈮合金旋轉(zhuǎn)靶進(jìn)行檢測，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C?SCAN掃描顯示組織均勻，未發(fā)現(xiàn)有內(nèi)部缺陷，達(dá)到了高端濺射靶材的要求。