一種具有鰭式結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210603401.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114695115A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114695115A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/335（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;H01L29/10（2006.01）I;H01L29/205（2006.01）I;H01L29/778（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 郭煒;戴貽鈞;葉繼春 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315201浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種具有鰭式結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件及其制備方法，涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，該方法包括獲得形成有圖形化極性調(diào)節(jié)層的襯底；通過(guò)調(diào)節(jié)Ⅴ族源與Ⅲ族源的輸入比生長(zhǎng)鰭式異質(zhì)結(jié)，鰭式異質(zhì)結(jié)包括在襯底未被圖形化極性調(diào)節(jié)層覆蓋的區(qū)域的氮極性異質(zhì)結(jié)，以及位于圖形化極性調(diào)節(jié)層上的金屬極性異質(zhì)結(jié)，氮極性異質(zhì)結(jié)和金屬極性異質(zhì)結(jié)的高度不同；制備電極，得到具有鰭式結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件。圖形化極性調(diào)節(jié)層可以控制金屬極性異質(zhì)結(jié)和氮極性異質(zhì)結(jié)的分布，在不同Ⅴ族源與Ⅲ族源的輸入比下，金屬極性異質(zhì)結(jié)和氮極性異質(zhì)結(jié)生長(zhǎng)高度不同，可直接生長(zhǎng)出鰭式異質(zhì)結(jié)，無(wú)需刻蝕，既可避免刻蝕帶來(lái)的損傷，還避免刻蝕損傷造成的溝道漏電通道，改善關(guān)態(tài)漏電流。 |
