一種蒸發(fā)材料制備設(shè)備及真空爐用蒸發(fā)材料收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220575818.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN216864301U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號(hào) CN216864301U 申請公布日 2022-07-01
分類號(hào) C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郎慶安;季晶晶;彭小強(qiáng);劉兆平 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 315201浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種蒸發(fā)材料制備設(shè)備及真空爐用蒸發(fā)材料收集裝置，真空爐用蒸發(fā)材料收集裝置包括收集罩和阻擋件，收集罩用于扣蓋于真空爐的爐膛，且所述收集罩開設(shè)有通氣口，所述阻擋件安裝于所述收集罩，所述阻擋件用于阻擋爐膛中蒸發(fā)的物料直接從所述通氣口溢出。上述真空爐用蒸發(fā)材料收集裝置，利用阻擋件阻擋收集罩中的物料直接溢出，避免了物料流失，使物料充分得到收集；利用收集罩實(shí)現(xiàn)在真空爐的爐膛上的直接取拿，操作簡單便捷。