納米圖形化藍寶石襯底及其制備方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011588068.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114695072A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695072A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐厚強;蔣潔安;郭煒;葉繼春;張耀華;柯強 申請（專利權(quán)）人 中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所
代理機構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 315201浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市大道519號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種納米圖形化藍寶石襯底及其制備方法和應用。所述制備方法包括：對藍寶石襯底的表面進行加工處理以形成多個缺陷；于溫度為1000℃以上的條件下對所述藍寶石襯底進行高溫退火處理，使所述藍寶石襯底表面形成納米圖形。本發(fā)明提供的納米圖形化藍寶石襯底的制備方法簡單易操作，成本低，對晶體質(zhì)量損傷小，并且所制備的納米圖形化藍寶石襯底的圖案形貌、尺寸均便于調(diào)控，周期性、均勻性和重復性較好，利于批量制備。