處理多晶硅尾氣的方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410260376.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104016352B 公開（公告）日 2016-05-18
申請公布號 CN104016352B 申請公布日 2016-05-18
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 李鋒;濮希杰;王利強;張艷春 申請（專利權(quán)）人 國電內(nèi)蒙古晶陽能源有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李志東
地址 010321 內(nèi)蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗大路新區(qū)東工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種處理多晶硅尾氣的方法和系統(tǒng)，該方法包括：(1)將罐區(qū)尾氣、精餾塔區(qū)尾氣和還原車間吹掃尾氣中的至少之一進行第一冷凝處理，以便分別得到第一氯硅烷冷凝液和第一不凝氣；(2)將得到的第一氯硅烷冷凝液進行第一精餾處理，以便分別獲得第一液態(tài)輕組分和第一液態(tài)重組分；(3)將得到的第一液態(tài)輕組分進行反歧化處理，以便得到三氯氫硅；(4)將得到的三氯氫硅進行吸附處理，以便得到純凈三氯氫硅；以及(5)將得到的第一液態(tài)重組分進行第二精餾處理，以便得到第二液態(tài)輕組分和第二液態(tài)重組分，并將第二液態(tài)輕組分返回步驟(2)進行第一精餾處理。該方法可以顯著降低冷量的消耗，并減少尾氣的排放。